:: Управляемая ГНN доработка на местах для эффективной разработки моделей с учетом суточных

arXiv:2610.22214v1 Annualce Type: New Humber Abstract: Multilatering Litrographic (MPL) широко используется для улучшения литографического разрешения в передовых узлах, но его стоимость уменьшается по мере сокращения размеров объектов. Самосборная установка (СВУ) является эффективным с точки зрения затрат дополнением, расширяющим разрешение оптической литографии до 10 нм и далее. Включение суточных в MPL (DSA-MP) еще больше повышает разрешение контактов/построение моделей. Тем не менее, растущая сложность проектирования позволяет выявить пределы существующих методов разложения, которые пытаются сбалансировать качество раствора и продолжительность работы, а также игнорировать ограничения в отношении промежутков между верхними и современными интервалами в шаблонах суточных, что ставит под угрозу возможность использования. Для решения этих проблем мы ввели новую модель графиков конфликтов, отражающую ранее неохваченные ограничения и разработаем местную стратегию совершенствования на основе графической нейронной сети, что позволит эффективно и масштабируемому разложению. Эксперименты показывают, что наш метод достигает более высокого уровня раствора