Китайская литография вышла в серию: новые машины уже получили заказы на серийные поставки

У ASML появился новый конкурент Компания Shanghai Xinshang Microassembly вывела на коммерческий рынок собственную литографическую установку AST6200. Аппарат прошел полный цикл технологической проверки у крупного китайского производителя полупроводников и уже получил заказы на серийные поставки. Литографическая машина AST6200 предназначена не для производства современных кремниевых процессоров, а для выпуска компонентов на основе карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия, фосфида индия и других соединительных полупроводников. Изображение Grok ASML разогнала продажи литографов и добивается повышения цен на EUV-оборудование Такие технологии востребованы в электромобилях, сетях 5G и оптоэлектронике. Установка поддерживает пластины диаметром от 2 до 8 дюймов и различные типы подложек, включая кремний, карбид кремния, сапфир и арсенид галлия. Система оснащена собственной проекционной оптикой, высокоточной системой совмещения слоев, регулируемой подсветкой и автоматической фокусировкой