ВВЕДЕНИЕ
Микроэлектромеханические MEMS датчики широко применяются в системах управления наземными, подводными и воздушными объектами, в навигации, смартфонах, игровых консолях. MEMS датчики используются для измерения угловых скоростей (гироскопы), ускорений (акселерометры), давления, влажности, температуры, концентрации химических веществ, газов.
Показания MEMS датчиков содержат ошибки, генерируемые шумами, нелинейностями, нестабильностью, взаимовлиянием координат, и др. источниками.
Существует и разрабатывается целый ряд методов минимизации ошибок. Оценки эффективности методов проводятся на показаниях MEMS датчиков, полученных при разных условиях эксплуатации.
