В России создана технология многолучевой литографии, которая увеличит производительность при выпуске чипов примерно в 3000 раз
Российские ученые разработали технологию производства отечественного многолучевого литографа. Он будет в тысячи раз производительнее обычного однолучевого и дешевле импортного многолучевого. Его можно будет применять для выпуска передовых микросхем по топологии в несколько нанометров. Главное, чтобы, пока в России начнется выпуск таких установок, мировые технологии не успели уйти слишком далеко вперед.
Российский литограф для передовой электроники
Ученые в России при поддержке НТИ завершили научно-исследовательские работы для создания многолучевого электронного литографа, выяснили «Известия».
