Эффективное обнаружение аномалий на основе патч с помощью диффузионной модели генерации для полупроводникового вафер бен Карты Открытое Аноматическое обнаружение
arXiv: 2610,09993v1 Annuate Type: New Humber: Surriental defaction signatures in waffer bink cart (WBM) delegation to sective progress respects, однако контролируемые классификаторы распознают только те типы дефектов, которые наблюдались в ходе подготовки, и одноклассные детекторы, построенные на едином механизме, как правило, отражают либо местные структурные отклонения, либо нарушения глобального распределения, но редко оба. В рамках этой работы предлагается гибридная система одноклассного обучения, которая сочетает в себе детектор учащихся-учителей (EfficientAD) с деномирующей диффузионной вероятностной моделью (DPM), используемой для частичного восстановления дисфункции, и пропускает их процентиликарованные оценки через фиксированную выпуклое сочетание. Обученный только 700 нормальным вафелям из набора данных смешанного типа WM-38K и оцененный на 18 658 выдержанных ваферах, детектор сплавленного газа достиг AUROC 0,9985 и уменьшил неправильную классификацию с 852 (DPM) и 1 412 (EfficientAD) до 618, причем все различия по паре были значительными на p < 0,001. Помимо совокупной точности, анальный
