LithoWorld: Endpoint World Model for Listographic Process-Window Recovery
arXiv: 261 020.23408v 1 Annuales Type: New Humber: Litographic Process dрифт может переместить сфабрикованный рисунок из окна процесса, производя неквалифицированный сканирующий микроскопию (SEM) морфологию. Мы представляем LithoWorld, мировую модель для восстановления параметров на основе SEM. Для целей, представляющих внутренние районы, совместно определяются квалифицированная исходная видимость и надзор за корректировкой. Количественная прогностическая ветвь приводит теперешние характеристики в соответствие с конечных точек, а политика условного потока генерирует двухмерную корректировку как кусок действия. Модель извлекает уроки из 173 групп измеряемых SEM, организованных в виде карт фокус-показателей и сохраняющих неизмеримые клетки как неизвестные. На 200 тестовых парах из 73 групповой подгруппы LithoWorld достигает 88,5 % успеха в квалифицированном регионе и 46,0% внутреннего успеха, превысив самый сильный метод сопоставления соответственно на 2,5 и 6,0 процентных пункта. В рамках расчетов проводится различие между последствиями выбора целевых показателей, согласования конечных точек и параметром выпускаi
