Физика > Оптика [представлена 10 сентября 2026 года] Название: A Two-mirror Faced Projection System for EUV Lithographic View PDF HTML (экспериментальный) Резюме: Мы предлагаем полностью отражающую двухзвуковую проекцию литографии ультрафиолета (EUV), функционирующую на волнах воздействия в размере 13,5 долл. США ~ нм (MO/Si) и 11,2 ~nm (Ru/Be), доставляющую четырехкратную демагнацию (49 часов) периодической структуры маски при численном проеме, приближающемся к единству ($matrm {NA} {\max} около 0,993 долларов. В отличие от обычных целей проекции EUV, которые включают 6-10 асферных зеркал с общей оптической пропускной способностью менее 15% долл. Количество отражений строго установлено на уровне двух для всех принятых заказов, сохраняя 50-60% мощности, оставляя маску в каждом утвержденном порядке. Мы вычисляем пространственную геометрию, обеспечивающую строгое оптическое уравнивание длины пути по всем диффузным приказам и тем самым устраняющую изменения в фазе распространения в зависимости от порядка. Индивидуально оптимизированные 30-бигайные многослойные покрытия Bragg предназначены для каждого элемента с использованием метода трансфертной матрицы в сочетании с глобальными алгоритмами эволюционной оптимизации. Архитектура обобщена в трехмерную формулу вектора с двухмерной периодической маской. Используя инверсивную литографическую технологию, параметризацию Fourier, а также дифференциальное решение волноводов электромагнитного вида, мы решим проблему синтеза для двоичных…
Двухзвуковая система прогнозирования для литографии ЕС
arXiv:2609.112999v1 Тип уведомления: перекрестное резюме: Мы предлагаем полностью отражающую двухзвуковую проекцию для литографии экстремальных ультрафиолетовых лучей (EUV), функционирующую на волнах воздействия в размере 13,5 долл. В отличие от обычных целей проекции EUV, которые включают 6-10 асферных зеркал с общей оптической пропускной способностью менее 15% долл. Количество отражений строго установлено на уровне двух для всех принятых заказов, сохраняя 50-60% мощности, оставляя маску в каждом утвержденном порядке. Мы вычисляем пространственную геометрию, обеспечивающую строгое оптическое уравнивание длины пути по всем диффузным приказам, тем самым устраняя зависимость от порядка pro